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    單晶矽石墨托盤

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       LED外(wai)延用(yong)石(shi)墨(mo)托(tuo)盤 單(dan)晶矽石墨托盤 多(duo)晶(jing)矽石墨托盤(pan) SiC石墨盤     石墨托盤是一種(zhong)用於(yu)LED外延(yan)晶圓製(zhi)程(cheng)的石墨承載盤,包括(kuo)若幹個(ge)設置在承(cheng)載盤上方的晶圓凹槽,用於置(zhi)放外延晶圓襯底,所(suo)述晶圓凹槽的內(nei)側(ce)邊(bian)緣(yuan)設置有(you)一擋板結構,且(qie)所述(shu)擋(dang)板(ban)與(yu)晶圓(yuan)襯(chen)底成互(hu)補關係,二者以(yi)擋板、晶圓襯底(di)的(de)平(ping)邊為重(zhong)合邊構(gou)成大(da)致(zhi)圓形(xing),所述擋板結構能(neng)夠(gou)減少(shao)在外延生(sheng)長(zhang)過(guo)程晶圓

    1. 詳細信息

       LED外延用石墨托盤 單晶矽石墨托盤 多晶矽(xi)石墨托盤 SiC石墨盤

         石墨托盤是一種用於LED外延晶圓製程的石墨承載盤,包(bao)括若幹(gan)個設置在承載(zai)盤上方的晶圓凹槽,用於置放外延晶圓襯底,所述晶圓凹槽的內側邊緣設(she)置有一擋板結構,且所述擋板與晶圓襯底成(cheng)互補(bu)關(guan)係,二者(zhe)以擋板、晶圓襯底的平邊為重合(he)邊構成大致圓形,所述擋板結(jie)構能夠減少在外延生長過程晶圓凹槽中的晶圓襯底平邊空(kong)隙(xi)位(wei)置,保(bao)證晶圓襯底平邊溫(wen)度和(he)氣(qi)流(liu)穩定,從而(er)提(ti)高(gao)外延晶圓襯底的邊緣良(liang)率(lv)。

         上海弘竣(jun)實業(ye)有限(xian)公司(si)生產的半(ban)導(dao)體(ti)外延片生長的CVD石墨托盤采用德(de)國進(jin)口(kou)石墨,具(ju)有更好的穩(wen)定(ding)性(xing)、更(geng)長的使(shi)用壽(shou)命(ming)。還(hai)可(ke)根據(ju)客(ke)戶的要(yao)求定製。更好(hao)的為(wei)半導體廠商服(fu)務。

     

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